[공정 Margin 평가] Process Corner Model 기법을 통한 Margin 평가

이전 장에서는 반도체 소자 Process가 정상적으로 이루어지고 있는지 모니터링 하는 Process Control Monitor, PCM Parameter에 대해서 알아보았습니다. 오늘은 PCM Paramter를 기반으로 각각의 Process Variation, Voltage, Temperature 등 변수들이 소자 특성에 미치는 영향과 각각의 한계 상황을 선정하여 Margin을 평가하는 방법인 Process Corner 평가 방법에 대해서 간략하게 다루어보도록 하겠습니다. Article : Integrated Power Management, Leakage Control and Process Compensation Technology for Advanced Processes Integrated Power..