반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 11 : "Debye length에 대해서 설명하세요"
오늘은 Metalization 공정에서 사용되는 Sputter 공정에 대해서 알아보기 전에 디바이 차폐에 대해서 설명드리겠습니다. 물리적인 이야기이니, 가볍게 보시고 넘어가셔도 좋습니다. [질문 1]. 디바이 차폐 (Debye shielding)에 대해서 설명해주세요. 플라즈마 내에 전기장을 인가하면 플라즈마 내에 하전입자들이 배치가 되면서 인가된 전기장을 상쇄시키는 성질을 가지고 있습니다. 이를 '디바이 차폐'라고 합니다. 화학에서는 Le Chatelier's law, 르샤틀리에 법칙에 따라 평형상태에서 외부 자극이 주어지면 평형상수를 낮춤으로써 외부자극을 상쇄시키는 방향으로 반응이 진행됩니다. 이와 마찬가지로 플라즈마 내에 하전입자가 들어온다면 이러한 변화를 상쇄시키기 위해 하전입자 주변에 반대의 극..
2022. 2. 23. 19:59
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