반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 추가교육 : "교육생들 질문 photoresist technology #1 "
생각보다 반도체 공정에 대해서 해박한 교육생들이 질문을 많이 남겨주었습니다. 우선 저도 많이 배울 수 있었다고 미리 감사의 말씀을 전합니다. 많은 질문 중에 괜찮은 질문들 정리해서 추가교육 실시하도록 하겠습니다. 교육 내용 중 이전 교육과 겹치는 내용은 링크를 참고해주세요. [질문 1]. EUV 이슈가 아직 정말 많은데 왜 굳이 EUV를 사용하는가. EUV가 정말 경쟁력이 있는가질문의도 : ArF-immersion, DPT, QPT로는 이제 더이상 안돼.. EUV이어야만 하는 이유에 대해서 말해보세요.EUV 이전 패터닝 공정 중에 미세패턴을 구현할 수 있는 최신 기술은 바로 멀티패터닝 공정입니다. DPT, QPT 등 패터닝 방식들이 실제 양산에 적용되고 있고 기술 구현을 위해 추가되는 공정 수가 많아 공..
2022. 1. 24. 23:15
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