반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[세정 공정] 훈련 3 : Wet Cleaning , 습식세정에 대해서 설명하세요.
오늘은 습식 세정에 대해서 알아보도록 하겠습니다. 교육생 여러분들이 에칭과 세정에 대해서 혼돈하는 경우가 많으신데요. 습식세정과 습식식각이 기본적인 컨셉은 동일하다고 볼 수 있습니다. 하지만 Target이 무엇이냐 에따라 다르게 구분되는 것이죠. [질문 1] 습식 세정 Flow에 대해서 간략하게 설명해주세요. 세정 Sequence에 대해서 간략하게 설명드리겠습니다. Cleaning은 크게 Main 공정 진행 전에 Wafer 표면을 세정하는 Pre-cleaning과 Main 공정 진행 후 진행 간 발생된 Contamination을 제거하는 Post Cleaning으로 구분됩니다. Pre-cleaning은 Deposition 공정 이전 Wafer 위에 존재하는 유기물, 무기 Particle, Metal Io..
2022. 6. 6. 18:08
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