반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[이온주입 공정] 훈련 3 : 이온주입 공정 설비에 대해서 설명해보세요
오늘은 본격적으로 Ion Implantation에 대해서 다루어보겠습니다. 오늘 다룰 내용은 Ion이 주입되는 과정과 설비에 대한 내용입니다. [질문 1] Ion Implant 공정 설비에 대해서 간략하게 설명해주세요. 이온주입공정 설비를 살펴보면 크게 Ion Source, Beam Line, End Station 3개의 영역으로 구분됩니다. 간략하게 설명드리자면, Ion Source 부에서는 Filament에 전류를 흘려주어 열전자를 방출시키고, 주입된 Dopant Gas와 충돌하여 Ion을 만들어냅니다. 이렇게 형성된 Ion은 Extraction Voltage와 Current를 조절하여 일정한 에너지를 가지는 Ion Source가 형성됩니다. 형성된 Ion Source는 Analyzer를 통해 원하는..
2022. 4. 18. 19:50
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