반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 : 16 "전극 면적에 따른 자기바이어스효과, 中"
지난 교육에서는 RF Plasma에서 플라즈마를 형성하고 유지할 수 있게 하는 Self bias effect에 대해서 알아보았습니다. 자기바이어스 효과는 전극 면적과도 밀접한 관계가 있습니다. 오늘 이 시간 주제는 전극면적과 자기바이어스 효과에 대해서 알아보겠습니다. [질문 1]. 자기바이어스 효과에 대해서 설명하세요. [복습] DC 직류 전압을 사용하는 DC Plasma와 달리 RF Plasma는 고주파의 교류전압을 사용하여 글로우방전을 일으킵니다. RF 고주파수 교류전압을 사용하는 이유는 DC Plasma에서 세라믹이나 비금속 등의 부도체 전극을 사용할 경우 플라즈마를 지속적으로 형성하고 유지할 수 없는 이슈가 발생했기 때문입니다. RF Plasma는 전극의 종류에 상관없이 방전을 일으킬 수 있습니다..
2022. 2. 28. 02:21
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