반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 8 : "Atomic Layer Deposition, ALD에 대해서 설명하세요"
드디어, Atomic Layer Deposition, ALD 까지 왔습니다. ALD 장비를 이해하면 왜 ALD 장비가 EUV와 함께 미세화 트랜드에 반드시 필요한 공정인지 알 수 있을 것입니다. [질문 1]. Atomic Layer Deposition, ALD 에 대해서 설명해주세요. ALD는 Atomic Layer Deposition으로 CVD 방식의 advanced 형태로 reaction time으로 depo. rate을 조절하는 CVD와 달리 cycle로 depo. rate을 조절합니다. ALD는 반응가스를 동시에 주입하는 CVD와 달리 반응소스를 독립적으로 주입함으로써 완벽한 표면반응제어 방식의 deposition이 가능합니다. 막질 내의 불순물을 최소화 할 수 있으며, 거의 ~100%의 우수한 ..
2022. 2. 14. 00:09
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