반도체사관학교 훈련과정/반도체 물리 및 소재
[반도체 소재] "High-k / Low-k 소재에 대해서 설명하세요"
여러분들 반도체 소자 카테고리에서 High-k 소재에 대해서 배우셨습니다. 정전용량을 높이기 위해서 High-k 소재가 도입되었는데, 오늘은 그 High-k 소재의 특성에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. 그리고 반도체 공정에서 Low-k 소재도 매우 중요합니다. 함께 다루어보겠습니다. [질문 1]. High-k 소재가 도입된 이유에 대해서 설명하세요. High-k 소재의 도입은 집적도를 높이는 데에서 시작합니다. 소자 Dimension이 미세화되면서 Subthreshold leakage current를 억제하기 위해 gate oxide thickness가 점점 얇아졌습니다. oxide thickness를 줄이는데 한계에 봉착하게 되면서 High-k 소재가 도입되었습니다. Transistor의 크기가 작아..
2022. 3. 6. 18:37
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