반도체사관학교 훈련과정/평가 및 분석
[평가 및 분석] LCR 미터 "커패시턴스 측정 방법"
소자의 커페시턴스를 측정하는 방법입니다. 특히 커패시턴스 값과 소자의 기본적인 Info를 통해 유전율을 구할 수도 있습니다. LCR미터는 임피던스 (Inductance), 커패시턴스 (Capacitance), 레즈스트 (Resistance)의 관계를 측정할 수 있어 LCR 미터라고 명명합니다. 문 1]. LCR 미터 측정은 언제 사용하죠. Keyword : [LCR미터, C-V곡선, HKMG, 산화막, Oxide capacitance] 최근 반도체 소자 미세화 트랜드에 따라서 HKMG (High-k Metal Gate) 공정 기술이 도입되었습니다. 소자의 누설전류를 억제하기 위해서는 산화막의 두께를 줄이거나 유전율을 높은 high-k 물질을 도입함으로써 oxide capacitance를 향상시켜 게이트 ..
2022. 1. 23. 23:18
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