반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 3 : "APCVD, LPCVD에 대해서 설명하세요"
이번 장에서는 CVD의 종류에 대해서 설명드리겠습니다. deposition 공정이 미세화 트랜드에 따라서 어떤 이슈가 발생했고 이슈를 트러블 슈팅했는지 흐름을 생각하면서 보시면 좋을 것 같습니다. [질문 1]. Chemical Vapor Deposition, CVD 종류에 대해서 설명해주세요. CVD는 Pressure 압력, Energy, 반응원료에 따라 분류됩니다. 우선 압력에 따라 APCVD(Atmospheric Pressure CVD), SACVD(Sub Atmospheric Pressure CVD), LPCVD(Low Pressure CVD)로 나뉩니다. APCVD는 상압에서 공정이 진행되며 LPCVD는 0.1~10torr에서 공정이 진행됩니다. 다음은 Energy에 따라, 열로 반응을 유도하면 ..
2022. 2. 10. 01:00
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