반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 훈련 8 : "포토공정 내 수율을 저하시키는 요인"
공정엔지니어는 데이터를 기반으로 정확한 원인을 분석하고 솔루션을 제공해야 하는 역량을 갖추어야 한다. [질문 1]. 포토공정에서 수율에 영향을 미치는 요인이 무엇이 있을까요. Keyword : [PR 두께, 산란, 반사, 정상파, Standing wave effect, PEB, ARC, BARC) 포토공정에서 수율을 저하시키는 불량에 대해서 말씀드리겠습니다. 가장 큰 요인 전사된 PR의 profile 불량이 가장 큰 요인으로 작용합니다. PR profile의 불량을 야기하는 것은 첫 번째, Exposure dose, Develope time, Bake temperature, 현상액의 과농도와 같이 공정 조건에 의한 것입니다. 두 번째는 빛의 산란과 반사로 인해 Standing Wave Effect (SW..
2022. 1. 10. 20:36
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