반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[딴딴's 속성과외] #3편, "플라즈마, 3편으로 끝낸다" #Plasma Summary!!, #Sheath #Self Bias Effect #면적에 따른 자기바이어스효과
오늘은 Plasma 편 마지막입니다! PT발표가 중요해진 만큼, 세부적인 것 하나 하나까지 모두 챙기시길 바라겠습니다. [질문 1] Plasma의 Potential 분포를 그림으로 그리고, Sheath 영역을 이용하여 Plasma의 생성 메커니즘을 설명해주세요. Sheath 영역은 Plasma 생성 메커니즘 상에서 자유전자와 양이온의 질량 차이에 따른 Mobility차이로 인해 생성되는 영역입니다. 자유전자보다 무거운 양이온이 축적되는 공간전하 영역이 형성되고, 음극 부근에서 급격한 전압강하가 일어나게 됩니다. (Sheath Voltage라고 함). 양이온이 Sheath 영역에 들어서게 되면 높은 전위차(Sheath Voltage)로 인해 Cathode로 가속되고 충돌 이후 2차전자를 발생시키게 됩니다...
2023. 12. 22. 23:11
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