[증착공정] 훈련 12 : "플라즈마와 파센 법칙, Paschen's Law"

플라즈마는 PVD, CVD, Etch 등 정말 다양한 반도체 공정에서 사용됩니다. 플라즈마가 사용되는 공정은 항상 플라즈마의 '형성'과 '유지'가 매우 중요합니다. 오늘은 플라즈마 형성과 유지와 관련된 파센법칙에 대해서 교육하겠습니다. [질문 1]. 파센법칙에 대해서 설명해주세요. 파센법칙은 방전이 시작할 때 필요한 방전개시전압 V와 기체압력 P, 전극사이의 거리 d의 관계를 나타냅니다. 방전개시전압 V는 기체의 압력과 전극간 거리 d의 곱으로 나타낼 수 있습니다. 전극간의 거리 d가 일정하다고 했을 때, 압력 P가 감소하게 되면 기체 원자의 수가 줄어들면서, 전자와 기체원자와 충돌할 확률이 감소하게 됩니다. 그 결과 플라즈마를 유지할 수 없게 됩니다. 압력이 P가 증가하면 Mean Free Path, ..