[반도체 시사] 인텔, 유럽 거점 아일랜드에 EUV 설비, 삼성도 노광기 수십대 투입 전망

현재 EUV 설비 인프라 확보에 불붙었습니다. 인텔은 유럽 자동차 업체를 대상으로 위탁생산을 강화하며, 삼성은 14nm EUV D램 양산, TMSC는 EUV 노광장비 80대를 보유하고 있습니다. 

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인텔, 유럽 거점 아일랜드에 EUV 설비, 삼성도 노광기 수십대 투입 전망

■글로벌 반도체 제조사 EUV 기술현황
① 삼성전자
- 상반기 3nm EUV 파운드리 공정 도입 예정
- 14nm EUV D램 양산 시작
② 인텔
- 아일랜드에 EUV 노광장비 반입
- ASML에 첫 차세대 High-NA EUV 장비 주문
- 2023년 판매할 제품에 첫 EUV 적용 예정
③ TSMC
- 올해 시설 투자에 52조원 투입 예정
- 현재 80대 내외 EUV 노광장비 보유
④ 마이크론테크놀로지
- 미국 R&D 설비에 ASML 최신 노광장비 반입
-일본 팹에 EUV 엔지니어 채용 움직임
- 2024년 EUV 공정 구현 예정

출처 : 서울경제

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• 올해의 반도체 시장 키워드는 극자외선 노광공정인 EUV입니다. 인텔, TSMC, 마이크론테크놀로지 등 반도체 제조사들이 EUV 인프라를 확보하기 위해 동분서주하고 있습니다. EUV 장비 확보전이 치열해지면서 국내 삼성전자와 SK하이닉스도 EUV 확보 경쟁에 뛰어들 것으로 보입니다.
  
  
• 최근 글로벌 반도체 업계들은 EUV 장비 및 기술확보에 사활을 걸고 있는 것으로 알려졌습니다. EUV는 반도체 공정 중 웨이퍼 위에 회로 패턴을 반복적으로 찍어내는 노광공정에서 활용되는 13.4nm 파장을 광원으로 하는 노광장비입니다. 기존 불화아르곤 (ArF) 광원보다 14분의 1 가량 짧은 파장으로 해상력을 높여 더욱 미세한 회로 패턴을 정확하게 찍어낼 수 있습니다. 
  
  
• 최근 가장 눈에 띄는 움직임을 보인 회사는 바로 미국의 인텔입니다. 인텔은 유럽반도체 생산거점인 아일랜드 공장에 처음으로 ASML의 EUV 노광장비를 반입했습니다. 인텔 측은 "아일랜드 신규 구축중인 '팹34'에 인텔 4공정(기존 7nm급 공정)과 EUV를 활용해 내후년 칩 생산을 시작할 것"이라고 밝혔습니다.
  
  
• 독일 뮌헨에서 열린 모터쇼에서 아일랜드에 첨단 차량용 반도체 공장을 세울 것이라고 발표했으며, 유럽 자동차 회사들이 필요로 하는 반도체를 맞춤 생산할 계획을 밝힌 만큼 향후 이곳에서 EUV 기술을 기반으로 한 유럽에서도 파운드리 사업을 활발하게 전개할 것으로 전망됩니다.

출처 : 서울경제

인텔, 유럽 거점 아일랜드에 EUV 설비…삼성도 노광기 수십대 투입 전망