반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[딴딴's 속성과외] 포토공정 #03 : 포토레지스트, Photoresist #1편 -기초-
[질문 1] Photoresist의 역할에 대해서 설명해주세요. Photoresist는 빛이 조사되었을 때, 빛에 의해 Resist 물질의 화학적 특성이 변하여 특정 기능을 수행하도록 Design 된 물질입니다. 노광공정에서 Photoresist를 Wafer에 균일하게 Coating 하고 Mask를 이용하여 빛을 조사시킴으로써 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분에 대해서 선택적으로 화학적 특성을 변경하여 Wafer 위에 회로 패턴을 형성할 수 있게 됩니다. Photoresist는 대표적으로 Hydrocarbon 베이스의 유기분자이며, Positive Type과 Negative Type이 있습니다. [꼬리 1-1] Positive type PR과 Negative type PR의 감광 메커니즘을 설명해주세요...
2023. 11. 19. 17:23
최근댓글