반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 추가교육 : "교육생들 질문 photoresist technology #3"
오늘은 차세대 resist technology에 새로운 resist를 소개하려고 합니다. 지난 교육에서 '인프리아'의 무기나노클러스터 레지스트 또한 New generation resist technology로 주목받고, 현재 양산 준비를 마친 것으로 알고 있습니다. 이번에 소개할 내용은 '램리서치테크놀로지' 사의 dry resist에 대해서 이야기 해보려고 합니다. [질문 1]. 무기 photoresist가 갖는 장점에 대해서 이야기해보세요. [포토공정] 추가교육 : "교육생들 질문 photoresist technology #2" Resist technology에 2번째 추가교육 시간입니다! 오늘 하루도 고생 많으셨어요. [질문 1]. EUV Photoresist 개발이 어려운 이유가 무엇인가요. Pho..
2022. 1. 29. 20:19
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