반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 훈련 4 : "Resolution에 대해서 공식으로 설명해보세요"
Rayleigh 1st criteria 를 설명하지 못 한다면 면접관을 100% 설득시킬 수 없다. [질문 1]. 포토공정에서 Resolution 에 대한 공식에 대해서 설명해보시고, Resolution 에 영향을 끼치는 변수에 대해서 설명해주세요. Keyword : [Rayleigh 1st criteria, k1, NA, Resolution, EUV, 설비, low k1-technology] 해상도(Resolution)는 유효렌즈 크기 (NA)가 클수록, 규격화된 광원의 파장(λ)이 단파장일수록 해상도는 향상됩니다. Resolution의 변화를 가장 빠르게 얻을 수 있는 방법은 바로 '단파장'의 광을 사용하는 것입니다. 해상도를 향상시키기 위해 I-line (365 nm), KrF (248 nm), A..
2022. 1. 7. 17:01
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