세정공정 검색 결과

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반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정

[딴딴's 속성과외] 반도체 제조공정에 필수 공정 "세정" 공정

이번 포스팅에서는 세정공정을 다루어보도록 하겠습니다. 반도체 제조공정에서 모든 공정 단계마다 세정 공정이 빠지지 않을 정도로 세정공정은 정말 중요합니다. 세정 공정에 대해서 한 번 알아볼까요. [질문 1] 세정 공정을 희망하시네요 세정 공정의 목적과 세정 공정 엔지니어의 역할에 대해서 설명해주시겠어요?세정공정은 반도체 제조 공정 과정에서 장치나 공정 반응에 의해 발생된 오염물을 제거하기 위한 공정입니다. 모든 반도체 제조 공정 단계 사이에서 세정 공정이 이루어질 정도로 세정공정은 중요합니다. 웨이퍼가 FAB-IN 된 후 FAB-OUT 되기 까지 약 2-3개월 정도의 기간이 소요되는 데, 이 기간 동안에 Photo, Etch, Diffusion, Thin Film, CMP 등 공정의 수가 800개 이상의 ..

2023. 4. 30. 20:24

반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정

[세정 공정] 훈련 1 : 세정 공정 - Cleaning 관련 용어

Cleaning 공정 요청이 생각보다 많아서 세정 공정에 대해서 다루어 보려고 합니다. 아무래도 세정공정은 화학 기반이다 보니 많이 어려웠습니다. 제가 물리 전공이다 보니 표현이 서툴 수 있다는 점 양해 바랍니다. 1. Deionized Water, (DI Water) 이온 교환 수지, Reverse Osmosis, RO (역삼투압), Ultra Filteration, UF 등의 고도처리 과정을 통해 물속의 이온성분, Particle, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 제거한 고도로 정제된 물을 의미합니다. 특히 반도체 산업에서 Wafer의 생산 수율을 높이기 위해서 비저항이 18.2Mohm-cm, 이온 및 기타 수질 항목이 ppb 또는 ppt 단위 Level의 고순도로 생산된 초 순수 물을 DI Wa..

2022. 5. 30. 20:25