반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 추가교육 : "EUV, High-NA 기술원리"
[질문 1]. Numerical Aperture, NA에 대해서 설명해보세요. Numerical Aperture, NA는 보통 '렌즈의 크기'를 표현하며, 정확히 말하자면, 렌즈의 유효한 부분을 재현하는 Aperture의 크기를 수치화 한 개념으로 '렌즈가 포착할 수 있는 최대 회절각'을 의미합니다. NA가 커질수록 해상도가 향상되어 미세선폭을 구현하는데 중요한 변수로 작용합니다. 반면에 NA가 커질수록 Depth of Focus, DoF 수직공정마진이 작아지기 때문에 Resolution과 DoF의 Trade off 관계를 고려하여 적절한 NA값을 취해야 합니다. "현재 EUV 장비는 완벽하게 양산이 이루어지고 있는가?, 생태계가 완전히 만들어졌다고 봐야하는가?" 현재 EUV는 양산에 필요한 성능을 모두..
2022. 2. 13. 16:30
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