반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 : 13 "DC Sputter, 음극전압강하, sheath 영역에 대해서 설명해보세요"
PVD는 CVD와 달리 화학적 반응을 수반하지 않기 때문에, 정말 물리적인 내용으로 접근할 수 있어서 마음이 편하네요. 재료 쪽으로 연구를 해도 멀게만 느껴지는 화학.. [질문 1]. DC Sputter에 박막 증착 메커니즘에 대해서 설명해주세요. Sputter는 Physical Vapor Deposition의 대표적인 증착 방법으로, 스퍼터링을 통해 박막을 증착합니다. DC Sputter는 양단의 전극에 DC bias를 인가하여 플라즈마를 형성합니다. 플라즈마는 glow discharge에 의해 형성됩니다. 양극에 DC bias를 인가하면, cathode의 전자가 방출되면서 가속된 전자는 기체원자와 충돌하여 기체원자를 이온화시킵니다. 이온화된 양이온은 cathode로 이동하여, 음극과 충돌을 통해 다량..
2022. 2. 24. 23:38
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