반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 훈련 5 : "Resolution과 DoF의 관계에 대해서 설명하세요"
Resolution 과 Depth of Focus 는 'Trade off' 관계입니다. 이는 공정마진과 관련하여 매우 중요한 파라미터라고 할 수 있습니다. [질문 1]. Depth of Focus에 대해서 설명해주세요. Keyword : [Rayleigh 1st criteria, NA, Trade off, DoF] DoF는 Depth of Focus 초점심도를 나타냅니다. 사진을 찍을 때 초점이 맺히는 부분과 defocus 되는 부분이 있습니다. Best focus 부분은 패턴이 잘 형성되지만 그렇지 않은 부분은 감광 깊이가 균일하지 않아 원하는 패턴이 형성되지 않습니다. CD를 유지하면서 수직 포커스 마진을 나타내는 것이 바로 DoF입니다. DoF가 클수록 공정마진이 넓고 패턴이 잘 형성됩니다. 예를 ..
2022. 1. 8. 00:24
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