반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[증착공정] 훈련 : 14 "DC Plasma는 부도체 전극에서 플라즈마를 유지할 수 없는 건지, 플라즈마의 collective motion에 대해서 설명하세요."
지난 교육에서는 DC Plasma에 대해서 알아보았습니다. DC Plasma는 여러분들도 아시다시피 세라믹이나 비금속 등의 부도체 전극에서는 플라즈마를 유지할 수 없습니다. 그 이유에 대해서 알아보겠습니다. [질문 1]. DC Sputter 공정의 이슈에 대해서 설명하세요. DC Plasma의 치명적인 단점은 부도체 source target을 증착할 수 없다는 점입니다. 그 이유는 sheath 전압에 가속된 양이온이 cathode와 충돌하면서 다량의 2차전자가 방출되면서 플라즈마를 형성하고 유지합니다. 하지만 전극에 부도체 source target이 위치하고 있다면, cathode로 가속된 양이온은 target 표면에 쌓이게 되고 potential drop에 의해 형성된 sheath 영역의 potenti..
2022. 2. 25. 14:43
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