반도체사관학교 훈련과정/반도체 소자
[반도체 소자] : [Short Channel Effect #5] "심화내용, body doping effect"
금일 교육에서는 Short Channel Effect, SCE의 심화적인 내용을 다루도록 하겠습니다. 반도체 소자의 dimension이 작아지면서 생기는 Channel length effect에 대해서 다루도록하겠습니다. Channel length가 짧아지면서 반도체 소자에는 Subthreshold current를 증가시키고, 이는 반도체 소자의 성능과 신뢰성 저하를 야기합니다. Subthreshold leakage의 원인은 다양한 short channel effect들이 존재하지만, 모두 threshold voltage, Vt와 직접적인 연관이 있다고 보면 됩니다. threshold voltage가 작아지면서, on/off 동작이 불가능해지고, 이는 gate 구동력이 낮아지기 때문입니다. 이번 장에서는..
2022. 2. 5. 22:09
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