반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[식각공정] 훈련 11 : MEMS : Bosch Process를 파헤쳐보자
여러분들 오늘은 Bosch Process에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. 생각보다 교육생 여러분들이 피드백을 많이 주셔서 다루어야 할 내용들이 많네요.. 최대한 시간 내서 작성해볼게요! 포스팅 할 때마다 제가 혹시 잘못 알고 있는 부분이 있을 수 있어, 논문이나 참고서적을 참고해서 꼭 검증하고 올린답니다. 그러다보니 시간이 지연되는 점 양해 부탁드립니다. [질문 1]. MEMS에 대해서 설명해주세요. 대학에서 Mechanic과 Electronic 융합을 전공하신 분들은 MEMS를 익히 들으셨을 거에요. 저도 우연히 MEMS 공정을 참관했던 기회가 있었는데 정말 흥미롭답니다. MEMS는 정의만 다루도록 하겠습니다. MEMS란 Micro Electro Mechanical Systems의 약자로, 미세한 3..
2022. 4. 16. 18:57
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