[포토공정] 훈련 6 : "포토공정, 공정여유 or 공정마진"

포토공정의 3가지 목표 이미지 패턴이 "정확한 모양으로, 균일한 크기로, 정확한 위치"에 전사되었는가. [질문 1]. 포토공정에서 공정의 제어(Control) 단계에 대해서 설명해보세요. Keyword : [Inspection, CD-SEM, Overlay, Critical Dimension, EL, 패턴 결함, 두께 측정] 포토공정은 설계도를 웨이퍼에 대량으로 빠른 시간 안에 전사시키는 기술입니다. 웨이퍼에 설계 회로도가 잘 올라갔는지 검증하는 Inspection 제어 단계가 요구됩니다. 먼저, 포토리소그래피 공정은 3가지의 목표를 가지고 있습니다. 정확한 모양으로, 균일한 크기로, 정확한 위치에 이미지 패턴을 웨이퍼에 전사시키는 것입니다. 이를 판단하기 위한 것이 바로 Inspection 단계입니다...