[세정 공정] 훈련 1 : 세정 공정 - Cleaning 관련 용어

Cleaning 공정 요청이 생각보다 많아서 세정 공정에 대해서 다루어 보려고 합니다. 아무래도 세정공정은 화학 기반이다 보니 많이 어려웠습니다. 제가 물리 전공이다 보니 표현이 서툴 수 있다는 점 양해 바랍니다.1. Deionized Water, (DI Water)이온 교환 수지, Reverse Osmosis, RO (역삼투압), Ultra Filteration, UF 등의 고도처리 과정을 통해 물속의 이온성분, Particle, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 제거한 고도로 정제된 물을 의미합니다. 특히 반도체 산업에서 Wafer의 생산 수율을 높이기 위해서 비저항이 18.2Mohm-cm, 이온 및 기타 수질 항목이 ppb 또는 ppt 단위 Level의 고순도로 생산된 초 순수 물을 DI Wate..