반도체 산업/시사
[반도체 시사] "인프리아, EUV 무기물 PR 생산량 2배 '급성장'"
작년 시사내용이지만, EUV 기술의 핵심 Photoresist 양산에 성공한 인프리아 기업에 대한 소식입니다. 해당 기업은 작년 일본 기업 JSR과 합병한 것으로 알고 있습니다. 인프리아, EUV 무기물 PR 생산량 2배 "급성장" 인프리아 기업은 미국 스타트업 기업으로 작년 일본기업과 합병한 기업입니다. 인프리아가 굉장히 우수한 패터닝 결과를 홍보하면서 멋진 결과를 이미 확보했다는 것에 실로 놀랍습니다. 인프리아 기술 내용을 보면 기존의 유기물 PR과 비교해서 분자 크기가 5분의 1수준으로 작고 또 광흡수율도 4배에서 5배 높은 우수한 스펙의 레지스트를 개발했습니다. 무기나노입자 레지스트다 보니 etch resistance도 높고 etch selectivity도 10배이상 높습니다. 미국 전자재료 업체..
2022. 1. 27. 23:38
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