[이온주입 공정] 훈련 5 : 이온 분포, Doping Profile, 이온 정지 이론 (Nuclear Stopping & Electronic Stopping Mechanism)

여러분들 이온주입 공정 교육 잘 따라오고 계신가요. 포스팅을 진행할 때마다 각 파트별 썸네일 교관의 얼굴을 선택하는 것이 가장 어려운 것 같아요. 이온주입 공정 교관 얼굴은 참 순수해서 글을 작성할 때마다 미소가 절로 나네요ㅎ. [설명 1] 이온 정지에 대한 Mechanism에 대해서 설명하세요. 이온 정지 이론은 에너지를 갖는 Ion이 Solid Target으로 주입될 때 멈추게 되는 Mechanism으로 Nuclear Collision과 전자와의 쿨롱 상호작용에 의한 Electronic Stopping Mechanism으로 구분됩니다. 이온주입 이후 두 메커니즘에 의해 가속된 이온은 에너지를 잃고 특정 Depth에서 멈추게 됩니다. 첫 번째는 결정을 이루는 원자와 충돌하면서 이온의 에너지가 손실돼 정..