반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] "Mask 3D Effects에 대해서 설명하세요"
[질문 1]. Mask 3D Effect에 대해서 설명해보세요. EUV의 마스크는 탄탈 (Ta) 기반으로 흡수체가 마스크 위에 3D 형상으로 돌출된 구조를 가집니다. EUV 광은 중심축을 기준으로 6도의 기울기를 가지고 EUV광이 마스크에 입사됩니다. 이때 마스크에 도달한 광은 반사가 되는데 이때 흡수체의 3D 구조에 의해 Shadowing effect 또는 마스크에 의한 이미징 수차가 발생합니다. 그로 인해, 초점과 패턴 배치가 변경되어 원하지 않는 패턴이 형성되는 이슈가 발생합니다. 이를 Mask 3D Effects라고 합니다. [꼬리 1-1]. Mask 3D Effects를 최소화시키는 방법에는 무엇이 있는가. 현재 업계에서는 EUV Mask 3D Effect 이슈를 최소화 시키기 위한 방법을 모색..
2022. 2. 13. 17:12
최근댓글