[이온주입 공정] 훈련 9 : 'Shallow Junction Depth Profile' 접합 깊이

여러분들 이미 반도체 소자 카테고리에서 SCE를 억제하기 위해서 Junction Depth를 Shallow 하게 만드는 것이 얼마나 중요한지에 대해서 다루어 보았습니다. 오늘은 Shallow Junction Depth Profile을 구현 내용에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. [질문 1] Shallow Junction Depth Profile의 중요성에 대해서 설명하세요. Gate CD (Critical Dimension)이 작아짐에 따라 Vt의 산포 관리가 어려워지고 있습니다. 이는 Leakage Current를 증가시키고 Leakage 성 Fail에 의해 수율 저하로 이어지는 심각한 이슈를 야기합니다. Gate CD를 줄인다는 것은 반도체 소자를 미세화시키고 소형화하는 단계입니다. 그럼에도 불구하고..