[금속공정] 훈련 4 : Ohmic Contact을 만들어라!, Salicide 살리사이드 공정.

여러분들 금속공정 파트에서, Hetero-, Homo- Junction 그리고 Workfunction 차이에 따른 Metal, Semiconductor의 다양한 유형의 Contact을 Energy Band Diagram을 그려보면서 공부해보았습니다. 특히 Metal과 Si 사이의 은밀한 Junction에 의해 전기적 특성이 달라지는 이슈가 발생하고 있습니다. 이를 개선하기 위해 Contact Resistance를 낮추기 위한 Salicide Process에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. [질문 1] Salicide 공정에 대해서 설명하세요. 반도체 Fab 공정에서 Active 영역을 형성하는 FEOL (Front End Of Line, FAB 전공정)과 배선과 절연막을 디자인에 따라 Drawing하고,..