[식각공정] 훈련 10 : Atomic Layer Etching (ALE) 차세대 식각공정 기술 [2/2]

여러분들은 Atomic Layer Deposition, ALD 공정에 대해서는 많이 접해보셨을 겁니다. 원자 한층 한층을 제어하여 Deposition하는 기술인데, Etch 공정에서도 원자 한층 한층 Etching 해나가는 ALE 기술이 존재합니다. 점점 더 공정이 미세해지면서 RIE는 한계에 봉착했고, 개발 이후 수십 년 동안 생산 부분에서 외면 받다가 이제서야 주목 받고 있는 ALE에 대해서 다루어보겠습니다. [질문 1]. Atomic Layer Etch, ALE 기술에 대해서 설명해주세요. Atomic Layer Etch, ALE 공정은 이름처럼 원자층 단위로 Etching 하는 공정입니다. Ion, Radical 인자의 반응을 시분할하여 공정을 진행합니다. Plasma가 발생하면 반응종들이 확산을..