[반도체 수율] "수율 개선을 위한 공정제어기술"

반도체 칩이 만들어지기까지 정말 다양한 공정들이 필요합니다. 이 가운에 공정제어(Process Control)는 선택한 변수를 조절함으로써 공정을 원하는 상태로 유지하는데 필요한 일련의 제어 과정을 말합니다. [질문 1]. 공정제어 (Process Control)에 대해서 설명하세요. 공정제어는 반도체 공정 중간중간에 결함과 불량이 있는지를 검사하고, 원하는 디자인대로 잘 만들어졌는지 계측하는 공정입니다. 공정 중 발생하는 결함은 제품 개발과 생산에 영향을 미치므로, 공정제어는 이를 적절하게 검출하고 제어하는 역할을 합니다. 공정제어는 Inspection (검사), Metrology (계측), Review (리뷰)로 구분됩니다. 검사는 결함을 검출하는 것이고, 계측은 회로에서 선폭과 정렬도 등을 측정합니..