[반도체 공정] Process Control Monitor, PCM Parameter 총정리 [1/2]

오늘은 Process Control Monitor, PCM에 대해서 공부를 해보았습니다.PCM은 반도체 Process 과정에서 측정한 Parameter들을 기반으로 원하는 Spec에 맞게 제작되었는지 파악하는 과정입니다. 설계적인 측면에서 왜 이러한 불량 분석이 발생했는지, 불량이 Timing에 관한 Margin 성 불량 이슈인지, Simulation과 측정 데이터가 matching 되는지 공정이슈는 없는지. 오늘부터 PCM이 익숙해질 때까지 달려보겠습니다.이번 장에서는 PCM의 주요 Parameter에 대해서 알아보도록 하겠습니다.[질문 1]. Process Control Monitor, PCM에 대해서 설명하세요. 반도체 공정을 진행한 Wafer에 형성되는 Transistor, 저항, Diode, C..