반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[포토공정] 훈련 9 : "ArF-immersion, DPT, QPT에 대해서 설명하세요"
드디어 여러분들은 중위 단계까지 오셨습니다. 말년 중위의 무서움을 여러분들이 아시는지 모르겠지만 어딜가든 조직내 실세라고 할 수 있습니다. 물론 단기자원만.. 아무튼 여러분들은 포토공정에 대해서 실세가 되었습니다. 조금만 더 참고 달려봅시다. [질문 1]. ArF-immersion 공정에 대해서 설명하세요.Keyword : [ArF-i, immersion, Water, 굴절율, DOF, Resolution, n=1.44, 193nm → 134nm, DOF(150nm), Resolution(40nm)]ArF는 193nm의 Eximer laser를 광원으로 하는 노광 설비입니다. 기존의 공기로 차있는 웨이퍼와 Projection lens 사이의 매질을 물을 사용함으로써 Resolution과 DOF를 향상시키..
2022. 1. 10. 22:47
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