[증착공정] 훈련 : 15 "RF Plasma, 자기바이어스효과에 대해서 설명하세요"

지난 교육에서는 DC Plasma에 대해서 알아보았습니다. 이번 장에서는 RF Plasma에 대해서 심도있게 다루어보도록 하겠습니다. 출발! [질문 1]. RF Sputter 공정에 대해서 설명하세요. DC 직류 전압을 사용하는 DC Plasma와 달리 RF Plasma는 고주파의 교류전압을 사용하여 글로우방전을 일으킵니다. RF 고주파수 교류전압을 사용하는 이유는 DC Plasma에서 세라믹이나 비금속 등의 부도체 전극을 사용할 경우 플라즈마를 지속적으로 형성하고 유지할 수 없는 이슈가 발생했기 때문입니다. RF Plasma는 전극의 종류에 상관없이 방전을 일으킬 수 있습니다. 이는 전극의 극성을 빠르게 바꿔줌으로써 전극표면에 양이온이 축적되는 것을 방지할 수 있기 때문에 방전을 지속시킬 수 있게 됩니..