[딴딴's 속성과외] 포토공정 #06 : 포토공정에서 이미징이 되는 원리??

중대장이 전파합니다. 금일 훈련 내용은 포토공정에서 Imaging이 되는 원리에 대해서 다루어볼까 합니다ㅎ [질문 1] Rayleigh Equation을 가지고 Resolution 향상에 대해서 설명해보세요. (판서 끄적끄적) 공정 집적도를 향상시킨다는 것은 바로 Resolution을 작게 만드는 것을 의미합니다. Rayleigh 식은 다음과 같이 파장이 짧을수록 NA가 커질수록, 그리고 공정상수인 k1이 작을수록 더욱 미세한 공정을 구현할 수 있어 집적도를 향상시킬 수 있습니다. 우선 파장입니다. 미세한 패턴을 만들기 위해서 파장은 436nm g-line부터 i-line(365nm), KrF(248nm), ArF(193nm), 그리고 EUV(13.5nm) 파장으로 더 짧은 파장의 광원으로 개발되었습니다..