[반도체 시사] 하프늄 전구체!, 반도체 소재 기업들 간의 전쟁.

반도체 산업의 생태계를 살펴보면 소재 기업 또한 뺴놓을 수 없습니다. EUV가 출현했을 당시, EUV 용 고해상도 Photoresist, 높은 투명도를 가지는 펠리클 등 소재 기업들의 생태계 또한 매우 치열합니다. 해당 기사 또한 미세화 트랜드에 따른 High-k 소재의 도입으로 인한 뜨거운 싸움에 대한 내용이네요. 하프늄 전구체 춘추전국시대 열릴까? 버슘머트리얼즈코리아 (현 Merk)가 일본 트리케미칼레버토리(TCLC)를 상대로 제기한 하프늄(Hf) Precursor 특허 무효 심판 결과에 반도체 업계들이 큰 관심을 가지고 있습니다. 결과에 따라 국내 하프늄 전구체 산업은 반도체 생태게에도 큰 영향을 미칠 것으로 예상됩니다. 특허심판에서 버슘 측이 승소할 경우, 약 3,000억원 규모의 Hf Precu..