[이온주입 공정] 훈련 7 : 격자손상 & 결함 & Annealing [2/2], TED, OED, ORD, 공정 이슈.

지난 교육에서는 이온주입 공정 이후 격자 결함과 Annealing의 필요성 그리고 종류에 대해서 다루었습니다. 오늘은 이론적인 내용에 대해서 심도있게 다루어보겠습니다. [질문 1] Annealing 조건에 따른 이온 분포에 대해서 설명하세요. 후속 공정인 Annealing 조건에 따라서 주입된 이온의 분포의 특성 차이가 나타납니다. 과속 증속 확산 (Transient Enhanced Diffusion, TED)에 대해서 설명드리겠습니다. TED 현상은 Annealing 과정에서 원하지 않는 Dopant Diffusion이나 Defect Cluster 형성이 발생되는데, 저온에서 원하지 않는 이온 분포가 발생하며, Activation이 감소하는 현상입니다. Annealing 조건의 2가지 Case로 설명드..