반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[식각공정] 훈련 2 : "Etching (식각) 공정에 대해서 설명해주세요"
오늘은 식각공정에 대해서 알아보도록 하겠습니다. 미세공정에서 가장 중요한 공정 중 하나가 바로 식각공정입니다. 중요한 공정이니 하나 하나 심도있게 알아보도록 하겠습니다. [질문 1]. 에칭공정에 대해서 설명해주세요. 반도체 회로 패턴의 완성은 바로 에칭공정이라고 생각합니다. 에칭공정은 포토공정 이후에 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정입니다. 에칭공정은 웨이퍼에 화학 용액이나 가스 (etchant)를 주입하여 불필요한 부분을 선택적으로 제거함으로써 반도체 회로패턴을 형성합니다. 포토공정에서 형성된 Resist 막을 남겨둔 채 나머지 부분을 화학적 반응이나 물리적 충돌로 제거되면 Resist 막을 제거하여 원하는 회로패턴을 만들 수 있습니다. 포토공정과 에칭공정을 반복적으로 수행함으로써..
2022. 3. 11. 00:30
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