[증착공정] 훈련 6 : "MOCVD에 대해서 설명하세요."

CVD는 보통 산화막을 증착합니다. 이때 성장한 산화막은 gate oxide로도 사용되며, PECVD와 같이 저온공정으로 성장된 산화막은 passivation layer, diffusion blocking layer, ILD, IMD 와 같은 용도로 사용됩니다. 이번 교육에서는 CVD을 이용한 금속박막 증착에 대해서 교육하겠습니다. [질문 1]. Metal Organic CVD, MOCVD에 대해서 설명해주세요. CVD를 이용한 금속 박막 증착에 대표적인 방식은 MOCVD입니다. MOCVD는 금속 유기 원료를 소스로 사용하여 기판 위에 박막을 형성시키는 CVD 방식입니다. 유기금속화합물은 금속원자와 탄소원자의 결합물로, 불안정하고 분해되기 쉬운 유기금속화합물을 수소 등을 사용해 기판 위에 증기상태로 주입..