[포토공정] 훈련 10 : "EUV의 이슈에 대해서 설명하세요"

차세대 노광공정인 EUV를 모르고, 공정 엔지니어 직무에 지원한다면, 그대는 면접관의 눈살을 찌뿌리게 만들 것입니다. [질문 1]. EUV 공정에 대해서 설명하세요. Keyword : [EUV, 반사형 마스크, 13.4nm, LPP, DPP, 극자외선, Photoresist, 진공, 거울] EUV 노광공정은 13.4nm의 단파장의 고에너지 광원을 사용하여 최소선폭(해상도)를 극대화 시킬 수 있는 차세대 공정입니다. 적은 횟수의 공정으로 이미지 패턴을 구현할 수 있기 때문에 기존 멀티패터닝 공정 대비 원가절감 효율을 기대할 수 있습니다. 하지만 EUV 공정에서 사용하는 극자외선은 흡수와 같은 해결해야 할 당면과제들이 존재하고 있습니다. [꼬리 1-1]. EUV와 기존 DUV Lithography의 차이에 ..