[증착공정] 훈련 9 : "미세공정에 따른 ALD 추가 직무면접"

미세화 트랜드에 따라 ALD의 비중은 점점 더 중요해지고 있습니다. ALD와 관련된 예상질문들을 정리해보았습니다. [질문 1]. 가볍게 'ALD'에 대해서 설명해주세요. ALD는 Atomic Layer Deposition으로 원자층 증착법입니다. 보통 많이 알려진 Chemical Vapor Deposition, CVD는 화학적 반응을 수반하여 막질을 형성하는데, ALD는 한층씩 원자수준의 1옹스트롱 내외로 박막을 증착합니다. CVD는 공정온도와 반응 gas의 부분합에 따라서 depo. rate을 조절할 수 있습니다. ALD 대비 100배 크게는 1,000배 빠르게 성장시킬 수 있어 Throughput이 높습니다. ALD는 CVD 대비 throughput은 낮지만 한 층씩 쌓기 때문에 우수한 step co..