반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정
[딴사관 정주행 프로젝트] CMP 공정 + 세정공정, C&C
Chap 1. 세정공정 기초Q1. 세정공정을 희망하시는군요. 세정 공정의 목적과 세정공정 엔지니어의 역할에 대해서 설명해주세요.Q2. 반도체 공정 상에서 발생할 수 있는 오염원에 대해서 알고 있는 것이 있다면 말씀해주세요.Q3. 여러 오염원들 중에서 본인이 생각하는 가장 Critical한 오염원이 무엇이라고 생각하시나요.Q4. 오염원에 따른 이슈에 대해서 설명해주세요!Q5. 세정 공정의 구분에 대해서 설명해주세요.Q6. 습식 세정과 건식 세정 중 무엇이 더 미세공정에 적합하다고 생각하시나요.Q7. RCA 세정에 대해서 간략하게 설명해주세요.Q8. 질화막이 제거되는 Chemistry를 설명해주시겠어요.Q9. Scrubber에 대해서 설명해주세요.Q10. Ozone Cleaning에 대해서 설명해주세요. [..
2024. 11. 27. 23:39
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