반도체사관학교 훈련과정/반도체 소자
[딴딴's 비밀노트] 차세대 메모리 3D DRAM 소자에 대해서 설명하세요.
[질문 1] 2D DRAM과 3D DRAM의 차이점은 무엇인가요.2D DRAM과 3D DRAM은 1Tr. + 1Cap. 즉 Memory Cell의 모양에서 큰 차이가 있습니다. 기존에는 Plat한 Si Wafer 위에 전류를 제어하기 위한 Tr.을 배치하고, 이 전하의 저장 유무에 따라 Data를 나타내는 Capacitor가 위치했습니다. 3D DRAM의 경우 Transisto와 Capacitor를 가로로 눕혀서, 수직으로 적층시킨 구조입니다. 이러한 구조를 채택하면, EUV와 같은 초미세 공정을 활용하지 않아도 된다는 강점이 있습니다. 또한 Memory Cell 사이 공간이 여유롭기 떄문에, 인접 Cell 간 간섭도 최소화 시킬 수 있습니다. 2D DRAM의 최대 용량은 32GB으로, 수직 적층 구조의..
2024. 11. 25. 22:38
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