[반도체 소자] 3D MOSFET의 진화, Gate-All-Around / 차세대 소자

반도체 소자는 2차원 구조에서 3차원 구조로 진화했습니다. Bulk single gate → SOI Single gate →SOI Double gate → SOI Omega gate → Gate-All-Around, GAA 소자는 지속적인 트랜지스터 소형화를 위해 단일게이트에서 이중게이트를 이용하여 Sub-10nm 이하급 소자를 발표했지만 sub-5nm 이하 구현의 한계에 봉착합니다. [Miscellaneous, 미셸 구조]미셸 구조는 바이오에서 비타민이나 항체들을 인지질 층으로 쌓은 구조로 쉘을 감싼 구조를 미셸 구조라고 합니다. 반도체 소자는 미셸구조처럼 channel을 gate 전체가 감싸는 구조의 소자가 개발되었습니다. 이후 [Multi Channel FET] → [Twin Silicon nano..