[딴딴's 속성과외] 포토공정 #07 : 고해상도 / Low-k1 Technology (#OAI, #OPC, #PSM, #Double Patterning, #SADP, #SAQP)

금일 훈련 내용은 고해상도 달성을 위한 Low-k1 Technology에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. 다양한 방법으로 Low-k1 개발을 통해 Resolution을 향상시켜왔는데요. 한 번 면접을 진행해봅시다. [질문 1] Resolution 식에서 k1이 가지는 물리적인 한계는 어디까지죠? (복습) 넵. 답변 드리겠습니다. Resolution과 상관성이 있는 k1의 물리적인 한계는 0.25입니다. 이 0.25라는 값이 가지는 의미는 Mask를 통과해 회절된 빛이 렌즈를 벗어나게 되면서 Wafer 상에 Imaging이 되지 않는 물리적 한계를 의미합니다. Resolution을 향상시키기 위해서 광원의 파장은 점점 더 짧아지고, 회절광을 최대한 많이 포함하기 위해서 NA는 커지게 되었습니다. 허나, 광..