PCM 검색 결과

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[딴딴's 비밀노트] MOSFET 특성 이해 및 측정 방법 총정리 #01편 -"BVdss, BVgss, gm, Isub, Idsat"

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2024. 12. 1. 16:30

[Yield] : PCM, SPICE Modeling, Corner Margin 평가

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2022. 4. 1. 16:00

반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정

[반도체 공정] Process Control Monitor, PCM Parameter 총정리 [2/2]

이전 장에서는 Transistor의 주요 PCM Parameter에 대해서 다루어보았습니다. 오늘은 Passive Device의 PCM Parameter 측정방법에 대해서 알아보도록 하겠습니다.[질문 1]. Sheet Resistance 측정에 대해서 설명하세요. Active, Poly 그리고 Metal Layer의 Sheet Resistance를 평가하기 위해 Kelvin Type 저항과 Bar Type 저항을 제작합니다. Kelvin type 저항은 Constant Current Source를 사용하여 일정 Current를 단자 1과 4 사이에 공급합니다. 그리고 단자 2와 3 사이의 전압차를 측정합니다. 측정된 전압차를 이용하여, 저항 값을 구할 수 있습니다. 저항의 전체 길이를 Line Width..

2022. 3. 26. 20:01

반도체사관학교 훈련과정/반도체 전공정

[반도체 공정] Process Control Monitor, PCM Parameter 총정리 [1/2]

오늘은 Process Control Monitor, PCM에 대해서 공부를 해보았습니다.PCM은 반도체 Process 과정에서 측정한 Parameter들을 기반으로 원하는 Spec에 맞게 제작되었는지 파악하는 과정입니다. 설계적인 측면에서 왜 이러한 불량 분석이 발생했는지, 불량이 Timing에 관한 Margin 성 불량 이슈인지, Simulation과 측정 데이터가 matching 되는지 공정이슈는 없는지. 오늘부터 PCM이 익숙해질 때까지 달려보겠습니다.이번 장에서는 PCM의 주요 Parameter에 대해서 알아보도록 하겠습니다.[질문 1]. Process Control Monitor, PCM에 대해서 설명하세요. 반도체 공정을 진행한 Wafer에 형성되는 Transistor, 저항, Diode, C..

2022. 3. 26. 18:34