[반도체 소자] "FinFET 소자에 대해서 설명하세요"

이전 교육에서는 Fully depleted SOI MOSFET에 대해서 배웠습니다. FinFET의 에서도 완전공핍형 이슈가 존재하는데 이번 장에서 다루어보도록 하겠습니다. [review] SOI MOSFET [질문 1]. FinFET에 대해서 설명해보세요.FinFET은 전류가 흐르는 통로를 지느러미 모양인 Fin 구조로 세우고 gate가 Fin을 다중 또는 전면으로 감싸고 있는 구조의 소자입니다. 초미세 트랜지스터를 제조할 때 가장 큰 이슈는 SCE 효과로 인한 누설전류를 억제하는 것입니다. 이때 게이트의 구동력을 극대화시키기 위해서 게이트가 채널을 감싸는 영역을 넓히기 위해 제안된 구조입니다. 나노소자는 0과 1을 명확히 구분해야 합니다. 하지만 누설전류 때문에 subthreshold slop..