[반도체 시사] "테스, 삼성 파운드리용 GPE 장비 '퀄테스트' 최종통과

'퀄테스트'란, 반도체 제조과정의 최종관문으로서, 신뢰성을 시험하여 만족하는 상태를 달성하는 테스트를 의미합니다. '품. 질. 인. 증'

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테스, 삼성 파운드리용 GPE 장비 '퀄테스트' 최종통과

 반도체 증착, 식각장비 전문업체인 TES가 파운드리 공정에 쓰이는 Gas Phase Etching, GPE 장비와 관련하여 삼성전자의 퀄테스트를 최종 통과했습니다. TES는 GPE 장비를 파운드리 공정에 공급하기 위한 연구개발을 진행해왔습니다. TES의 파운드리용 GPE 장비는 올해부터 삼성전자 신규 파운드리 공정에 본격적으로 도입될 것으러 전망되고 있습니다.

 

• 테의 Gas Phase Etching, GPE 장비가 삼성전자의 퀄테스트의 최종 통과했습니다. 올해 파운드리에 공급이 성사될 것으로 전망되며 기존 메모리 LDP에 이어 파운드리 (비메모리 시스템반도체) 분야 매출 실현에 본격화 될 것으로 보입니다.
  
  
• Gas Phase Etching, GPE 설비는 불화수소 가스를 사용하여 웨이퍼 표면에 있는 산화막을 깎아내는 건식 식각 장비입니다. 
  
  
• TES는 지난 2010년 메모리형 GPE 장비를 상용화해 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 반도체 기업에 공급했고, 매출 비중이 가장 높은 고객사인 삼성전자 메모리 라인의 경우 도쿄일렉트론 사와 테스의 GPE 장비 비율이 7:3 또는 6:4 비율로 도입되고 있는 것으로 알려져 있습니다.
  
  
• TES는 파운드리 공정에도 GPE 장비를 공급하기 위해 연구개발을 진행해왔고, 파운드리용 장비는 각 공정에 양산을 의뢰한 고객사의 최적화된 방식으로 커스터마이징을 해야 하기 때문에 메모리용 장비 대비 개발 난이도가 훨씬 높습니다. 
  
  
• 퀄테스트를 통과했다는 것은 GPE 장비가 실제 양산 가능 단계에 접어들었다는 것을 의미합니다. 
  
  
• "테스가 지난해 말 최종 퀄테스트를 통과하면서 올해 삼성전자 P3에 GPE 장비를 공급하게 될 것으로 안다.", "삼성전자 입장에서도 공급처 다변화를 통해 가격협상력을 높일 수 있을 것이다."라고 말했습니다. 
  
  
• 테스는 또 다른 주력 사업인 화학기상증착 CVD 장비 또한 파운드리 공정용으로 개발하는 방안을 추진 중에 있습니다. 테스의 파운드리용 CVD 역시 올해 퀄테스트를 통과할 가능성이 높은 것으로 전망됩니다.
  
  
• CVD장비는 외부에너지로 원료가스를 분해시켜 화학적 기상반응을 일으켜 웨이퍼에 박막을 증착시키는 장비입니다. 

출처 : 전자부품 전문 미디어, 디일렉

테스, 삼성 파운드리용 GPE 장비 '퀄테스트' 최종 통과 - 전자부품 전문 미디어 디일렉

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